Wykonanie osadzania warstw na podłożu (w szczególności elastycznym) przy użyciu spatial ALD / Performing the deposition of layers on the substrate (in particular flexible) using spatial ALD – SAULE-FB-1/01/2021
14-01-2021
Przedmiotem niniejszego postępowania jest wykonanie osadzania warstw na podłożu (w szczególności elastycznym) przy użyciu spatial ALD.